| Câmara | Orientação vertical, 1 porta |
|---|---|
| Material | 316 de aço inoxidável |
| Tecnologia do vácuo | Revestimento duro de PVD, revestimento de CrN, chapeamento do pvd, evaporação catódica do arco |
| Fontes de Deposição | Fontes do arco |
| Filmes de revestimento | Cr, CrN, chapeamento do filme do metal do centro de detecção e de controlo etc., nitreto do titânio, |
